近些年來(lái),由于人們家庭及辦公場(chǎng)所對節能的意識不斷提高,在節能的同時(shí)還致力于實(shí)現舒適生活的智能家居,以及為必要的地方提供必要亮度的照明,并可實(shí)現節能與舒適性?xún)扇涿赖膽璀h(huán)境照明等的智能辦公室已經(jīng)過(guò)研究階段進(jìn)入了驗證實(shí)驗的階段。其中,作為掌握人數及人物所處位置的關(guān)鍵件,傳感器的需求正在不斷高漲。 由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無(wú)法檢測靜止不動(dòng)的人物,所以難以檢測人數及人物所處位置。
由于這種情況,開(kāi)發(fā)了能夠檢測靜止人物,具有90度廣視野范圍并可實(shí)現高精度區域溫度檢測,用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。 該MEMS非接觸式溫度傳感器是通過(guò)應用MEMS技術(shù)的熱電堆將對象物體發(fā)出的紅外線(xiàn)能源變?yōu)闊崮?,并通過(guò)兩種金屬接點(diǎn)之間溫差所形成的熱電動(dòng)勢測量溫度。但由于熱電堆所轉換的熱能大多數都會(huì )通過(guò)空氣散失,所以在金屬接點(diǎn)之間難以形成較大的溫差,致使熱電動(dòng)勢變小,無(wú)法提高靈敏度。 這次,世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉換的熱能散失在空氣中,使金屬接點(diǎn)之間的溫差變大,從而可實(shí)現更高的靈敏度,該溫度傳感器目前在全世界行業(yè)技術(shù)屬于瑤瑤領(lǐng)先的。
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