隨著(zhù)人口老齡化和中國醫療保健系統的健全,各種遠距離監護和高精度治療設備將越來(lái)越多地被引入。醫療保健市場(chǎng)逐漸成為MEMS傳感器應用的又一大市場(chǎng)。MEMS具有微型的特點(diǎn),可以代替器官植入、微量檢測,主要的發(fā)展方向是血管內手術(shù)和顱內手術(shù)以及細胞手術(shù)。目前,很多傳感器已經(jīng)成功的應用的醫療設備中了,如,MEMS稱(chēng)重傳感器用于無(wú)創(chuàng )胎心檢測,傾角模塊在醫療手術(shù)床上應用等。
MEMS傳感器在消費電子領(lǐng) 域中主要應用于運動(dòng)/墜落檢測、導航數據補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區消除、速度/距離計數、其他體育和保健應用等等。這些MEMS 技術(shù)都在很大程度上提高了用戶(hù)體驗,并帶來(lái)了全新的電子消費產(chǎn)品。其中加速度計是該市場(chǎng)中第一大應用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長(cháng)迅速,已經(jīng)成為繼加速度計后的 第二大應用產(chǎn)品。
汽車(chē)電子是傳感器的一個(gè)重要應用領(lǐng)域。隨著(zhù)電子技術(shù)的發(fā)展和汽車(chē)電子控制系統應用的日益廣泛,汽車(chē)稱(chēng)重傳感器市場(chǎng)需求將保持高速增長(cháng),微型化、多功能化、集成化和智能化的傳感器將逐步取代傳統的傳感器,成為汽車(chē)傳感器的主流。每臺汽車(chē)會(huì )有40到上百個(gè)傳感器,而汽車(chē)智慧化的發(fā)展趨勢也將促進(jìn)汽車(chē)市場(chǎng)對傳感器的需求。
除去以上三個(gè)領(lǐng)域,在稱(chēng)重傳感器中,MEMS 傳感器也有很多的應用。小體積、低成本的MEMS傳感器越來(lái)越多地用在各種機械振動(dòng)監測上,它可以用來(lái)監測馬達、軸承等的振動(dòng),從而實(shí)現預見(jiàn)性維護;利用 MEMS加速度計實(shí)現的傾角儀也被廣泛用在各種工業(yè)測量設備上;還有遙控直升機的伺服系統、兩輪車(chē)的平衡系統、天線(xiàn)穩定平臺等。
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