按照被測量的物理性質(zhì),將微型傳感器分為化學(xué)微型傳感器、生物微型傳感器、物理微型傳感器等,簡(jiǎn)要介紹一下每種類(lèi)型中典型的微型傳感器:
?。?)離子傳感器——化學(xué)型
離子傳感器是將溶液中的離子活度轉換為電信號的傳感器?;驹硎抢霉潭ㄔ诿舾心ど系碾x子識別材料有選擇性的結合被傳感的離子,從而發(fā)生膜電位或膜電壓的改變,達到檢測目的。離子敏傳感器廣泛用在化學(xué)、醫藥、食品以及生物工程等行業(yè)中。
?。?)基因傳感器——生物型
基因傳感器通過(guò)固定在感受器表面上的已知核苷酸序列的單鏈脫氧核糖核酸(Deoxyribo Nucleic Acid,DNA)分子(也稱(chēng)為ssDNA探針),和另一條互補的ssDNA分子(也稱(chēng)為目稱(chēng)DNA或靶DNA)雜交,形成雙鏈DNA(dsDNA),換能器將雜交過(guò)程或結果所產(chǎn)生的變化轉換成電、光、聲等物理信號,通過(guò)解析這些響應信號,給出相關(guān)基因的信息?;騻鞲衅饕卜Q(chēng)DNA傳感器。
?。?)聲表面波傳感器——物理型
聲表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)傳感器是利用聲表面波技術(shù)和微機電系統技術(shù),將各種非電量信息,如壓力、溫度、流量、磁場(chǎng)強度、加速度、角速度等的變化轉換為聲表面波振器振蕩頻率的變化的裝置。