就單一傳感器而言,微型傳感器是指尺寸微小的傳感器,如敏感元件的尺寸從微米級到毫米級、甚至達到納米級,主要采用精密加工、微電子以及微機電系統技術(shù),實(shí)現傳感器尺寸的縮小。
?就集成的傳感器而言,微型傳感器是指將微小的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成的傳感器。
?就傳感器系統而言,微型傳感器是指傳感系統中不但包括微傳感器,還包括微執行器,可以獨立工作,甚至由多個(gè)微型傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò ),或者可實(shí)現異地聯(lián)網(wǎng)。
微型傳感器的特點(diǎn):
(1)體積小、重量輕
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