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1.微傳感器是指尺寸微小的傳感器，如敏感元件的尺寸從微米級到毫米級、甚至達到納米級，主要采用精密加工、微電子以及微機電系統技術(shù)，實(shí)現傳感器尺寸的縮小。
2.微傳感器是指將微小的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成的傳感器。
3.微傳感器系統是指傳感系統中不但包括微傳感器，還包括微執行器，可以獨立工作，甚至由多個(gè)微傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò )，或者可實(shí)現異地聯(lián)網(wǎng)。