微型傳感器的誕生天時(shí)是關(guān)鍵

　　安全、舒適、無(wú)污染、經(jīng)濟性一直是汽車(chē)工業(yè)和用戶(hù)追求的目標。實(shí)現這些目標的關(guān)鍵在于汽車(chē)的電子化和智能化，先決條件則是各種信息的及時(shí)獲取，這勢必要求在汽車(chē)中大量采用各種傳感器。傳統的傳感器往往體積和重量大，成本高，它們在汽車(chē)的應用受到很大的限制。??
　　 近年來(lái)從半導體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來(lái)的MEMS (Microelectromechnical System, 微電子機械系統)技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種能敏感和檢測力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和生物量的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實(shí)現許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構成大規模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車(chē)方面的應用. 80年代初，微型壓阻式多路絕對壓力（Manifold Absolute Pressure）傳感器開(kāi)始大批量生產(chǎn)，取代了早期采用LVDT技術(shù)的壓力傳感器。80年代中期微型加速度傳感器開(kāi)始用于汽車(chē)安全氣囊,它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車(chē)中得到廣泛應用的微型傳感器。然而微型傳感器的大規模應用勢必將不限于發(fā)動(dòng)機燃燒控制和安全氣囊,在未來(lái)5～7年內包括發(fā)動(dòng)機運行管理、廢氣與空氣質(zhì)量控制、ABS(antilock brake system,防抱死系統）、車(chē)輛動(dòng)力學(xué)控制、自適應導航、車(chē)輛行駛安全系統（如氣囊和障礙物檢測與避撞等）在內的應用將為MEMS技術(shù)提供廣闊的市場(chǎng)。
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